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微波等離子體發(fā)生器原理
1 微波源 2 環(huán)形器 3 自動(dòng)阻抗調(diào)節(jié)器 4波導(dǎo) 5 等離子噴管 6 短路活塞
微波等離子體炬的原理是將微波能量通過(guò)匹配調(diào)節(jié)器，聚集在等離子噴管處，激發(fā)並維持等離子體
傳統(tǒng)微波等離子發(fā)生器的框圖如上，在實(shí)際應(yīng)用中，微波等離子體激勵(lì)裝置存在以下應(yīng)用難點(diǎn)
1、系統(tǒng)複雜，裝置體積較大
2、微波激勵(lì)等離子放電難度較大，難以實(shí)現(xiàn)自激勵(lì)點(diǎn)火
3、微波等離子的維持對(duì)於阻抗及其敏感，等離子體處理過(guò)程中，需要即時(shí)調(diào)節(jié)阻抗，來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)於等離子 體炬的工作維持.
降低系統(tǒng)複雜度，提高微波等離子體的激勵(lì)與維持穩(wěn)定性，是微波等離子體應(yīng)用的關(guān)鍵
常壓氮?dú)馕⒉ǖ蜏氐入x子炬 應(yīng)用, 性能和指標(biāo)
主要應(yīng)用及其優(yōu)勢(shì)
主要應(yīng)用：線上等離子處理，材料表面改性及活化
差異化優(yōu)勢(shì)：
超低溫常壓等離子方案
定點(diǎn)飽和測(cè)溫最低可達(dá)400C（同樣的測(cè)試方法市面上標(biāo)稱700C-900C的常壓中頻等離子實(shí)測(cè)為
2500C-3000C）
等離子射流溫度低於市場(chǎng)上大多數(shù)的常壓氬氣等離子
優(yōu)越及穩(wěn)定的處理效果
最低使用成本的超低溫常壓等離子方案
長(zhǎng)射流，高通過(guò)性
真正的電中性、無(wú)電損傷的等離子方案
材料適應(yīng)面廣，適合多種材料的常壓等離子表面處理
處理效果維持時(shí)間長(zhǎng)，接近射頻真空方案
性能與指標(biāo)– 200W, 氮?dú)馕⒉ǖ入x子炬
等離子體最低溫度: 40 Deg.C
等離子體射流長(zhǎng)度：25~35mm
等離子處理範(fàn)圍: 直徑 10~25mm
工作功率範(fàn)圍：10~180W （推薦40~120W）
氣體流量: 10~35 slm (推薦20~30slm)
微波炬及射流形態(tài)
微波源機(jī)箱外形
